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化学机械研磨专用季铵盐

责任编辑：yh001 发布时间：2020/4/24 15:07:39

一、产品性质

本品为特殊吉米奇（Gemini）季铵盐阳离子表面活性剂，分子中具有两个疏水基和两个亲水基，亲水基依靠联接基团通过化学键而联接，由此造成两个表面活性剂单体相当紧密的结合，这种结构，一方面增强了碳氢链的疏水作用；另一方面，使亲水基间的排斥作用因受化学键限制而大大削弱。因而具备更加优良的物理化学特性。

二、产品特点

1、该阳离子表面活性剂能够控制具有阶梯高度的半导体的表面突出部分的抛光速率与半导体的表面凹陷部分的抛光速率的比值，因此，可得到高平靣化的半导体；

2、该阳离子表面活性剂具有较低的临界胶束浓度，并且比常规表面活性剂相比更容易使颗粒分散，可以更显著地稳定磨料颗粒，提高淤浆组合物的稳定性；

3、能够提高在抛光后的优良清洁性能；

4、适用性广，适合热解法二氧化硅颗粒、胶态二氧化硅颗粒、氧化铝颗粒、二氧化铈颗粒、以及这些颗粒的混合物。

三、技术指标

外观：无色至淡黄色膏体

固含量：55±1%

pH（1%水溶液）：6±2

保质期：2年

四、产品用途

本品广泛应用于化学机械抛光（CMP）的淤浆组合物。

五、包装、运输、贮存、标志

1.本产品采用50kg塑料桶包装，亦可根据客户要求定制。

2.包装桶上应有下列标志：产品名称、厂名、批号、净重、生产日期、产品合格证。

3.本产品应存于无光线照射的阴凉处，运输时应防日晒、雨淋和高温。本品为非危险品。